佐藤直幸(工学部電気電子システム工学科)

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亜鉛-酸素混合プラズマを用いた高機能ZnO透明導電膜の低抵抗化プロセス　　　　　　　　　　　　　　　
佐藤直幸; 野中翔太,竹田直樹,池畑隆,佐藤達志, 電気学会
平成27年電気学会基礎・材料・共通部門大会資料, 2015年

マルチプラズマイオンプレーティングに向けたデュアルＺｎＯ透明導電膜合成装置の開発　　　　　　　　　　　　　　　
佐藤直幸; 大木浩,根矢和次,佐藤達志, 電気学会
電気学会プラズマ研究会資料, 2014年

高機能ZnO透明導電膜のシート抵抗低減に向けた亜鉛-酸素混合プラズマの高密度化
佐藤直幸; 吉崎正洋; 池畑隆
電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会, 2012年12月10日, ［査読有り］

Ｃｕ２Ｏ系ＰＶセルのＥＣＲ酸素プラズマ作製におけるセル特性のプロセス条件依存性　　　　　　　　　　　　　　　
電気学会プラズマ研究会資料, 2011年12月15日

Plasma synthesis of ZnO transparent conductive film for multi-junction solar cells　　　　　　　　　　　　　　　
38th EPS Conference on Plasma Physics (2011), 2011年06月28日

多接合太陽電池向けフルスペクトルＺｎＯ透明導電膜の低気圧高周波プラズマ合成
佐藤直幸; 吉田善紀; 柳澤真也; 岸田智和; 池畑隆
電気学会プラズマ研究会資料, 2011年03月14日

ICP 合成によるZnO 透明導電膜のプラズマパラメータ依存性
吉田善紀; 土川弘晃; 佐藤直幸; 池畑隆
電気学会プラズマ研究会資料, 2010年12月16日

ECRリモートプラズマを用いたCuxO/ZnOへテロ接合による光起電力の発生
橘川裕太,佐藤直幸,池畑隆, We have examined the generation of photovoltage for CuxO/ZnO heterojunction which is formed by combining ZnO transparent conductive film on the conventional copper plate oxidized in our unique low-pressure plasma. The open circuit voltage and the short circuit current density are 40 mV and 2.5 A/cm2 without the texture effect of the contact layer, respectively. These values are strongly dependent on the sheet resistance of ZnO transparent conductive film synthesized in the Zn-O2 mixture plasma whose ion energy can be lowered until 7 eV oriented for the damage-free plasma processing.
電気学会プラズマ研究会資料, 2009年11月14日

水素ガス導入によるICP合成ZnO透明導電膜の低抵抗化　　　　　　　　　　　　　　　
吉田善紀,佐藤直幸,池畑隆, We have investigated that the resistivity as well as the sheet resistance of ZnO transparent conductive film decreases with keeping the transparency when the hydrogen gas is introduced to the Zn-O2 mixture plasma during a deposition. The result seems to be attributed to the substitution of hydrogen atoms highly excited in ICP for oxide defects in ZnO film and consequently to the increase of mobility due to the reduction of Zn-Zn distance. The decrease of film thickness by introducing the hydrogen gas which is found from the wavelength dependencies of the visible light transmittance may support our consideration.
電気学会プラズマ研究会資料, 2009年11月14日

ZnO透明導電膜の抵抗率低減に向けた誘導結合型酸素プラズマ中Zn蒸気の観察
佐藤直幸,宇都浩平,吉田善紀,池畑隆, ZnO transparent conductive film is synthesized on the unheated pylex glass by vaporizing zinc into the inductively coupled oxygen plasma under the condition of relatively low pressure and undope. The resistivity of which is decreased until a few factor of 10-3 cm with an average light transmittance more than 90 % in the visible range. The result is attributed to employing the 3-D movable zinc source. Our method is effective for obtaining the relationships between resistivity and plasma parameters such as plasma density, electron temperature, and space potential since the amount of zinc incident upon the substrate is controlled with high accuracy by changing the zinc source-to-substrate distance under keeping zinc vaporization quite stable.
電気学会プラズマ研究会資料, 2008年12月20日