タシロ　スグル
田代　優准教授
Suguru TASHIRO

■研究者基本情報

組織

  • 工学部 物質科学工学科
  • 理工学研究科（博士前期課程） 量子線科学専攻
  • 応用理工学野 物質科学工学領域

研究分野

  • ナノテク・材料, 材料加工、組織制御, 摩擦撹拌接合
  • ナノテク・材料, 基礎物理化学
  • ナノテク・材料, 金属材料物性

研究キーワード

  • たたら製鉄
  • Alワイヤボンディング
  • LSI用Cu配線
  • 異種金属間接合
  • 摩擦撹拌接合

学位

  • 1994年03月　博士（工学）（熊本大学）

学歴

  • 1991年04月10日 - 1994年03月15日, 熊本大学, 自然科学研究科（学習院大学、甲南大学）
  • 1991年04月 - 1994年03月, 熊本大学, 自然科学研究科（学習院大学、甲南大学）

委員歴

  • 2009年04月 - 2011年03月, まてりあ編集員, 日本金属学会

■研究活動情報

論文

  • Interface Characterization of Ultrasonic Spot-Welded Mg Alloy Interlayered with Cu Coating
    Amir Badamian; Chihiro Iwamoto; Shigeo Sato; Suguru Tashiro, MDPI
    metals, 2019年05月08日, ［査読有り］
  • 析出硬化系ステンレス鋼の冷間鍛造加工プロセスの開発　　　　　　　　　　　　　　　
    大貫啓人、和田正勝、五十嵐雅高、隠岐裕康、飛田厚、田代優、永野隆敏、岩瀬謙二、鈴木徹也
    自動車技術会議論文集, 2019年01月25日, ［査読有り］
  • Effect of Mg substitution on crystalline structure and hydrogenation of Gd4MgNi19　　　　　　　　　　　　　　　
    Kenji Iwase; Kazuhiro Mori; Naoyoshi Terashita; Suguru Tashiro; Tetsuya Suzuki
    Int. J. Hydrogen Energy, 2018年01月18日, ［査読有り］
  • Crystal structure of Pr3MgNi14Dx studied by in situ neutron diffraction　　　　　　　　　　　　　　　
    Kenji Iwase; Kazuhiro Mori; Naoyoshi Terashita; Suguru Tashiro; Tetsuya Suzuki
    Inorganic Chemistry, 2017年05月25日, ［査読有り］
  • Effect of Mg substitution on crystal structure and hydrogenation of Ce2Ni7-type Pr2Ni7　　　　　　　　　　　　　　　
    Kenji Iwase; Kazuhiro Mori; Naoyoshi Terashita; Suguru Tashiro; Tetsuya Suzuki
    J. Solid State Chem, 2017年01月15日, ［査読有り］
  • Structural change of NdNi3 during hydrogen absorption-desorption cycle　　　　　　　　　　　　　　　
    Kenji Iwase; Kazuhiro Mori; Suguru Tashiro; Hitoshi Yokota; Tetsuya Suzuki
    Int. J. Hydrogen Energy, 2016年01月22日, ［査読有り］
  • Effect of Mg substitution on hydrogen absorption-desorption behavior and crystal structure of Gd2-xMgxNi7　　　　　　　　　　　　　　　
    Kenji Iwase; Naoyoshi Terashita; Kazuhiro Mori; Suguru Tashiro; Hitoshi Yokota; Tetsuya Suzuki
    Int. J. Hydrogen Energy, 2015年12月11日, ［査読有り］
  • Crystal structure analysis of La2Ni6CoDx during deuterium absorption process　　　　　　　　　　　　　　　
    Kenji Iwase; Kazuhiro Mori; Suguru Tashiro; Hitoshi Yokota; Tetsuya Suzuki
    Inorganic Chemistry, 2015年08月12日, ［査読有り］
  • Effects of Mg substitution on crystal structure and hydrogenation properties of Pr1-xMgxNi3　　　　　　　　　　　　　　　
    Kenji Iwase; Naoyoshi Terashita; Kazuhiro Mori; Suguru Tashiro; Hitoshi Yokota; Tetsuya Suzuki
    International Journal of Hydrogen Energy, 2014年07月14日, ［査読有り］
  • 超高純度Cu陽極の含リン化が8インチウエハへの陽高純度めっきプロセスにおける異物汚染および形成したCu配線の抵抗率に及ぼす影響　　　　　　　　　　　　　　　
    田代優
    日本金属学会誌, 2013年11月01日, ［査読有り］
  • 高純度めっき材料を用いた低抵抗率Cu 配線形成プロセスの8インチウ エ ハによる検証　　　　　　　　　　　　　　　
    田代優; 門田裕行; 伊藤雅彦; 打越雅仁; 三村耕司; 一色実; 大貫仁
    日本金属学会誌, 75, 7,, 2011年07月, ［査読有り］
  • 超微細Cu配線の微細構造と抵抗率に及ぼす硫酸銅純度の影響　　　　　　　　　　　　　　　
    田代優; KhyouPin Khoo; 大貫仁
    日本金属学会誌, 2011年04月, ［査読有り］
  • Effect of the Purity of Plating Materials on the Reduction of Resistivity of Cu wires for Future LSIs　　　　　　　　　　　　　　　
    Jin Onuki; Suguru Tashiro; Khyoupin Khoo; Nobuhiro Ishikawa; Takashi Kimura; Yasunori Chonan; Haruo Akahoshi
    Journal of the Electrochemical Society, 2010年09月, ［査読有り］
  • Influence on the Electro-Migration Resistance by Line Width and Average Grain Size along the Longitudinal Direction of Very Narrow Cu Wires　　　　　　　　　　　　　　　
    クーキューピン; 田代優; 大貫仁
    Mater. Trans., 2010年, ［査読有り］
  • Microstructures of 50-nm Cu Interconnects along the Longitudinal Direction　　　　　　　　　　　　　　　
    Materials Transactions, 2007年, ［査読有り］
  • Diffusion Coefficient Determination of Sodium Iodide Vapor in rare Gases with Use of Ionization Sensor　　　　　　　　　　　　　　　
    Suguru Tashiro; Norihiko Sagawa
    日本原子力学会誌, 2001年07月
  • ransport and Deposition of Halide in Alkali Metal-Stainless Steel Systems,(Ⅳ) Measurement of Sodium Iodide Solubility in Sodium with Major Constituents of Stainless Steel and Oxide in Sodium　　　　　　　　　　　　　　　
    Suguru Tashiro; Norihiko Sagawa
    日本原子力学会誌, 2000年10月

MISC

  • The development of an innovative process of large grained and low resistivity Cu wires for less than hp 45nm ULSI
    Suguru Tashiro; Khyoupin Khoo; Takahiro Nagano; Jin Onuki; Haruo Akahoshi
    Proc. IEEE Intl. Interconnect Technology Conf. (IITC), 2007年06月
  • Cu配線の現状と将来
    大貫仁、田代優、Khoo Khyou Pin
    金属, 2007年

講演・口頭発表等

  • The Development of an Innovative Process of Large Grained and Low Resistivity Cu Wires for less than hp 45nm ULSI　　　　　　　　　　　　　　　
    International Interconnect Technology Conference, 2007年06月04日

所属学協会

  • 2006年12月, 日本金属学会

共同研究・競争的資金等の研究課題

産業財産権

  • 特願 2008-309890, 半導体集積回路装置及びその製造方法
    篠嶋妥、大貫仁、田代優、Khoo Khyou Pin
  • 特願2007-157015, 特願2007-157015, 特願2007-157015, ボンデイングワイヤ、それを使用したボンデイング方法及び半導体製造装置並びに接続構造
    大貫仁、田代優、市村稔、武田誠、
  • 特願2007-106945, 半導体集積回路装置およびその製造方法
    大貫仁、田代優、Khoo Khyou Pin、石川信博、古屋一夫、長野隆洋