タシロ スグル
田代 優准教授
Suguru TASHIRO

■研究者基本情報

組織

  • 工学部 物質科学工学科
  • 理工学研究科(博士前期課程) 量子線科学専攻
  • 応用理工学野 物質科学工学領域

研究分野

  • ナノテク・材料, 材料加工、組織制御, 摩擦撹拌接合
  • ナノテク・材料, 基礎物理化学
  • ナノテク・材料, 金属材料物性

研究キーワード

  • たたら製鉄
  • Alワイヤボンディング
  • LSI用Cu配線
  • 異種金属間接合
  • 摩擦撹拌接合

学位

  • 1994年03月 博士(工学)(熊本大学)

学歴

  • 1991年04月10日 - 1994年03月15日, 熊本大学, 自然科学研究科(学習院大学、甲南大学)
  • 1991年04月 - 1994年03月, 熊本大学, 自然科学研究科(学習院大学、甲南大学)

委員歴

  • 2009年04月 - 2011年03月, まてりあ編集員, 日本金属学会

■研究活動情報

論文

MISC

講演・口頭発表等

  • The Development of an Innovative Process of Large Grained and Low Resistivity Cu Wires for less than hp 45nm ULSI               
    International Interconnect Technology Conference, 2007年06月04日

所属学協会

  • 2006年12月, 日本金属学会

共同研究・競争的資金等の研究課題

産業財産権

  • 特願 2008-309890, 半導体集積回路装置及びその製造方法
    篠嶋妥、大貫仁、田代優、Khoo Khyou Pin
  • 特願2007-157015, 特願2007-157015, 特願2007-157015, ボンデイングワイヤ、それを使用したボンデイング方法及び半導体製造装置並びに接続構造
    大貫仁、田代優、市村稔、武田誠、
  • 特願2007-106945, 半導体集積回路装置およびその製造方法
    大貫仁、田代優、Khoo Khyou Pin、石川信博、古屋一夫、長野隆洋