Yasushi SASAJIMAProfessor

■Researcher basic information

Organization

  • College of Engineering Department of Materials Science and Engineering
  • Graduate School of Science and Engineering(Master's Program) Major in Quantum Bean Science
  • Graduate School of Science and Engineerin(Doctoral Program) Major in Quantum Bean Science
  • Faculty of Applied Science and Engineering Domain of Materials Science and Engineering

Research Areas

  • Nanotechnology/Materials, Metallic materials, Metallic Physical Properties

Research Keyword

  • 材料挙動の計算機シミュレーション,分子動力学法,モンテカルロ法,フェーズフィールド法

Degree

  • 1992年03月 博士(工学)(東京大学総長)

Career

  • Apr. 2010, 茨城大学教授工学部物質工学領域
  • Apr. 2007, 茨城大学准教授工学部物質工学領域
  • Apr. 1995, 茨城大学助教授工学部物質工学科
  • Oct. 1990, 茨城大学助手工学部物質工学科
  • Apr. 1986, 茨城大学助手工学部金属工学科

Member History

  • Jul. 2015 - Jun. 2017, 編集幹事, 日本軽金属学会

Message from Researchers

  • (Message from Researchers)

    (教員からのメッセージ)
     篠嶋研究室では、材料挙動の計算機シミュレーションに関する研究を行っています。計算手法は分子動力学法・モンテカルロ法・フェーズフィールド法を使っています。分子動力学法(MD)は、材料を個々の原子の集合体と見て、個別の原子の運動を数値解法で求めます。モンテカルロ法(MC)は統計力学の理論をもとに、与えられた条件下で最も実現頻度の高い原子配置を求めます。MD法とMC法によって、材料挙動を原子の解像度で詳細に調べることができます。
     材料特性には原子よりも長いスケールでの組織が重要な因子になります。本研究室では、ミクロとマクロの中間領域での材料挙動を、フェーズフィールド法で計算しています。この方法によって、材料組織が形成される過程を調べることができます。
     材料挙動はとても複雑であり、これを再現しようとする計算プログラムも複雑化して開発が困難になっていきます。この問題を解決するために、UMLモデリング法のような新しいプログラム開発技法を取り入れています。

■Research activity information

Paper

MISC

Books and other publications

  • 〔Major achievements〕半導体デバイスにおける界面成語技術:固体界面物性と計算機実験の基礎と応用               
    大貫 仁・篠嶋 妥・永野 隆敏・稲見 隆, Joint work
    内田老鶴圃, 20 Apr. 2021
    9784753650507
  • 茨城大学工学基礎ミニマム「物理」               
    第; 著者, Joint work
    学術図書出版, 31 Mar. 2002
  • コンピュータによるシリコンテクノロジーI               
    山本良一編; 篠嶋 妥, Joint work
    海文堂, Apr. 1990

Lectures, oral presentations, etc.

  • Molecular Dynamics Simulation of high-energy beam irradiation of SiO2 crystal with free surface               
    Yasushi Sasajima; Satoshi Kimata; Norito Ishikawa
    21st International Conference on Radiation Effects in Insulators (REI-21), 05 Sep. 2023
    20230903, 20230908
  • Elimination of Plastic Deformation of Copper in Cu-TSV Using Triple-lining Method               
    Yazdan Zare; Yasushi Sasajima; Jin Ohnuki
    4th International Symposium of Quantum Beam Science at,Ibaraki University, 31 Oct. 2019
    20191031, 20191101
  • 計算機実験によるロータスアルミニウムにおける,ポア成長の最適条件探索               
    飯塚 恒太; 湯地 隆介; 遠藤 基史; 池田 輝之; 篠嶋 妥
    軽金属学会, 11 May 2019
    20190510, 20190512
  • Si-Al二元系におけるSi固相成長における界面安定性の計算機実験               
    岩田恭平; 湯地隆介; 遠藤基史; 篠嶋妥; 大貫仁
    軽金属学会, 11 May 2019
    20190510, 20190512
  • 計算機実験によるロータスアルミニウムにおける ポア成長の最適条件探索               
    飯塚 恒太; 湯地 隆介; 遠藤 基史; 池田 輝之; 篠嶋 妥
    軽金属学会, 11 May 2019
  • ロータスアルミニウムにおけるポア成長のフェーズフィールドシミュレーション               
    飯塚 恒太; 湯地 隆介; 遠藤 基史; 篠嶋 妥; 池田 輝之
    日本金属学会, 20 Mar. 2019
  • Si-Al二元系におけるSi固相成長のフェーズフィールドシミュレーション               
    岩田 恭平; 湯地 隆介; 遠藤 基史; 篠嶋 妥; 大貫 仁
    日本金属学会, 20 Mar. 2019
  • Grain Coarsening Mechanism of Cu Confined in Ultra-fine Wire               
    Yasushi Sasajima; Takatoshi Nagano and Jin Onuki
    WCSM-2018 (BIT’s 4th Annual World Congress of SmartMaterials -2018), 06 Mar. 2018
  • Pinning effect of Fe(ClO) compounds on Cu grain growth in very narrow Cu wires : ab initio calculation and Cs-corrected STEM observation               
    Daiki Eguchi; Takatoshi Nagano; Nobuhiro Ishikawa; Kunihiro Tamahashi; Kishio Hidaka; Yasushi Sasajima; Jin Onuki
    第23回日本MRS年会, 09 Dec. 2013, 日本MRS
  • Gd2O3添加CeO2への高速粒子線照射に関する分子動力学シミュレーション               
    茨城大工; 長田 卓也; 安島直紀; 篠嶋 妥; 原研 石川; 法人; 大阪府大工; 岩瀬 彰宏
    日本金属学会2012秋季大会シンポジウム, Sep. 2012
  • 薄膜の粒成長に及ぼす基板の影響               
    茨城大工; 圓谷 哲紀; 木村 勇貴; 永野 隆敏; 篠嶋 妥; 大貫 仁
    日本金属学会2012秋季大会, Sep. 2012
  • 超微細配線中のCu粒成長に及ぼす不純物元素の影響               
    茨城大工; 江口 大貴; 圓谷 哲紀; 篠嶋 妥; 永野 隆敏; 大貫 仁
    日本金属学会2012秋季大会, Sep. 2012
  • 単結晶への高速粒子線照射の分子動力学シミュレーション               
    茨城大工; 安島 直紀; 長田 卓也; 篠嶋 妥; 原研; 石川; 法人; 大阪府大工; 岩瀬 彰宏
    日本金属学会2012秋季大会, Sep. 2012
  • アモルファスSi/Ge積層薄膜における析出過程の計算機実験               
    茨城大工; 村上 純也; 長田 卓也; 篠嶋 妥
    日本金属学会2012秋季大会, Sep. 2012
  • UO2の高エネルギービーム照射に関するシミュレーション実験               
    茨城大工; 長田卓也; 小貫英昭; 工 篠嶋 妥; 原研 石川法人; 大阪府大工; 岩瀬彰宏
    日本金属学会2011秋季大会, Nov. 2011
  • Cu 薄膜の粒成長に及ぼす基板の影響               
    茨城大工; 木村勇貴; 工; 篠嶋; 妥; 大貫 仁
    日本金属学会2011秋季大会, Nov. 2011
  • Cu 中の不純物の親和性の第一原理計算による評価               
    茨城大工; 圓谷哲紀; 工; 篠嶋; 妥; 大貫; 仁; 永野隆敏
    日本金属学会2011秋季大会, Nov. 2011
  • SiO2 の高エネルギービーム照射によるトラック形成シミュレーション               
    茨城大工; 小貫英昭; 工; 篠嶋 妥; 大阪府大工; 岩瀬彰宏
    日本金属学会2011秋季大会, Nov. 2011
  • UO2の高エネルギー・ビーム照射によるトラック形成の解析               
    日本金属学会2011年春季大会, Mar. 2011
  • Characteristics of Ruthenium as barrier materials for Copper wires and search for its substitute materials               
    第20回日本MRS学術シンポジウム, Dec. 2010
  • Computer simulation of high-enerugy-beam irradiation of single-crystalline silicon and β-cristobalite               
    第20回日本MRS学術シンポジウム, Dec. 2010
  • Effects of Impurities on the Grain Growth of Aluminium Film               
    ICAA12, Yokohama, Sep. 2010
  • Cu配線用バリアメタル材料としてのRuの特性と代替材料探索               
    日本金属学会2010年秋季大会, Sep. 2010
  • SiO2の高エネルギービーム照射によるトラック形成の解析               
    日本金属学会2010年秋季大会, Sep. 2010
  • Al系二元合金の等温デンドライト成長:フェーズフィールド法と摂動理論との比較               
    軽金属学会第103回秋季大会講演, Nov. 2002

Affiliated academic society

  • 2010, 日本MRS
  • 日本金属学会
  • 軽金属学会

Research Themes

Industrial Property Rights

  • 特許第6994257号, 特開2020-072184, 特願2018-205406, 配線構造
    篠嶋 妥, ヤズダン ザーレ, 大貫 仁
  • 特許第6799843号, 特開2017-193770, 特願2016-086074, Ru成膜方法、Ru成膜装置
    永野 隆敏, 大貫 仁, 篠嶋 妥, 玉橋 邦裕, 小沼 重春
  • 特開2020-072184, 特願2018-205406, 配線構造
    篠嶋 妥, ヤズダン ザーレ, 大貫 仁
  • 特許第6683987号, 特開2016-164965, 特願2015-183828, 超低抵抗率銅配線を有する半導体集積回路装置
    篠嶋 妥, 大貫 仁, 永野 隆敏
  • 特許第6649303号, 特開2018-142649, 特願2017-036877, 銅配線及びその製造方法
    大貫 仁, 篠嶋 妥, 玉橋 邦裕, 伊藤 雅彦, 稲見 隆
  • 特開2018-142649, 特願2017-036877, 銅配線及びその製造方法
    大貫 仁, 篠嶋 妥, 玉橋 邦裕, 伊藤 雅彦, 稲見 隆
  • 特開2017-193770, 特願2016-086074, Ru成膜方法、Ru成膜装置、金属成膜装置、Ruバリアメタル層、配線構造
    永野 隆敏, 大貫 仁, 篠嶋 妥, 玉橋 邦裕, 小沼 重春
  • 特許第6080009号, 特開2014-222715, 特願2013-101708, 半導体集積回路装置及びその製造方法、並びに該半導体集積回路装置に使用する低抵抗率銅配線の探索方法
    大貫 仁, 篠嶋 妥, 永野 隆敏, 玉橋 邦裕, 千葉 秋雄
  • 特開2016-164965, 特願2015-183828, 超低抵抗率銅配線を有する半導体集積回路装置
    篠嶋 妥, 大貫 仁, 永野 隆敏
  • 特許第5963191号, 特開2013-251380, 特願2012-124608, 半導体集積回路装置及びその製造方法
    篠嶋 妥, 大貫 仁, 玉橋 邦裕
  • 特許第5754702号, 特開2012-169516, 特願2011-30514, 半導体集積回路装置用バリア材の探索方法及び当該探索方法によって探索される半導体集積回路装置用バリア材
    Yasushi Sasajima, Jin Onuki, Takatoshi Nagano, Kunihiro Tamahashi
  • 特許第5754702号, 特開2012-169516, 特願2011-030514, 半導体集積回路装置用バリア材の探索方法及び当該探索方法によって探索される半導体集積回路装置用バリア材
    篠嶋 妥, 大貫 仁, 永野 隆敏, 玉橋 邦裕
  • 特開2014-222715, 特願2013-101708, 半導体集積回路装置及びその製造方法、並びに該半導体集積回路装置に使用する低抵抗率銅配線の探索方法
    大貫 仁, 篠嶋 妥, 永野 隆敏, 玉橋 邦裕, 千葉 秋雄
  • 特開2013-251380, 特願2012-124608, 半導体集積回路装置及びその製造方法
    篠嶋 妥, 大貫 仁, 玉橋 邦裕
  • 特許第5366270号, 特願2010-541378, 半導体集積回路装置及びその製造方法
    篠嶋 妥, 大貫 仁, 田代 優, クウ キュウ ピン
  • 特開2012-174765, 特願2011-033019, 半導体集積回路装置用ルテニウムバリア膜とその作製方法及び該ルテニウムバリア膜を有する半導体集積回路装置とその製造方法
    永野 隆敏, 大貫 仁, 篠嶋 妥, 玉橋 邦裕
  • 特開2012-169516, 特願2011-030514, 半導体集積回路装置用バリア材の探索方法及び当該探索方法によって探索される半導体集積回路装置用バリア材
    篠嶋 妥, 大貫 仁, 永野 隆敏, 玉橋 邦裕
  • WO2010-064732, JP2009070637, 半導体集積回路装置及びその製造方法
    篠嶋 妥, 大貫 仁, 田代 優, クウ キュウ ピン
  • 特願2011-33019, 半導体集積回路装置用ルテニウムバリア膜